热导池检测器TCD

文档简介热导池检测器是一种高灵敏度的传感器，可以检测气体成分的变化，可用于程序升温分析，如程序升温氧化（TPO），程序升温脱附（TPD），以及脉冲化学吸附流动法气体吸附实验。