可调谐激光器--移相干涉法测量光学表面质量

文档简介前言：确定关键部件的表面质量，即与预期形状的偏差，无论是平面还是球面等，是高精度制造的关键。当光束照射到有疵病的光学元件表面时, 会产生杂散光。在光学系统中, 影响其性能的主要原因是由系统内部产生的大量散射光造成的, 即使整个光学系统设计得再好, 如果内部光学元件的质量不过关, 那么构成的系统也不能正常工作。