文档简介FS4000系列气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这系列流量计由广州汉川仪器仪表有限公司采用的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出,通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
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