Park NX-TSH 专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜(AFM)系统

文档简介NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界领先的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。标准Z扫描器由高强度压电堆驱动，并由挠曲结构引导，具有高共振频率，可以实现更准确的反馈。使用可选的长距离Z扫描仪，ZDz扫描范围可从15 um扩展到40 um.