光栅基本原理【上】

文档简介目前，大部分的衍射光栅产品均由母版复制而成，母版制备工艺主要有精密机械刻划、可离子束增强的全息制版，另外也有一些诸如半导体光刻等新的科技手段。

光栅方程
一个典型的衍射光栅包括基底（通常为光学材料），其表面通过加工形成的大量平行凹槽，以及表面镀有的铝膜等反射膜构成。凹槽的质量和间距是光栅参数的关键指标。若假定光栅表面与其刻划方向正交的部分是锯齿型，可以导出光栅基本方程。