【应用指南】浅谈运动控制中的重复定位精度

文档简介高精度电动位移控制广泛应用于光纤耦合，半导体晶圆定位，微加工等多个领域。针对不同的应用，我们需要选择不同的位移控制台，评估多个参数，比如重复性、精度、倾斜、俯仰等等。用户通常需要对比多个厂家的技术参数，这会有很大的风险，尤其是在选择亚微米级的应用中。这是因为每个厂家的测试方法以及测试条件的不同，甚至在一些参数的定义上略有不同。本文将讨论真实的运动控制中的关键参数以及测试方法，告诉您这些参数实际的意义。