扫描电镜在失效分析中的应用案例

文档简介飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX可直观地对选定范围的不同问题进行处理，例如，它的高分辨率和高景深。操作者可以在短时间内接受培训，并避免在应用过程中出现重大错误。该设备的操作系统令人印象深刻。导航和光学相机功能有助于对测量点理解和选择，并允许在SEM图像之外记录光学图像。用户可以使用鼠标操作。根据任务和样品的属性，可以调整图像质量。该系统即使在高分辨率下也能提供出色的图像，另一个特点是减轻荷电样品杯，在不需要大倍数的塑料表面观察时，溅射不是必需的。如果选择溅射，得到更好的图像质量水平是可行的。可推荐的一种配件是夹具，作为导电胶粘剂表面的另一种用途，它要求接触面积尽可能的光滑。使用EDX和AIM扩展应用程序也很简单，可在很短的时间内会带来好的结果。在报告和拼接图像的扩展方面，软件的优化将是未来使用的理想选择。