PLASMA等离子体处理仪VP-S系列

文档简介VP-S系列等离子清洗机系统频率40KHz，具有双路气体极ng准控制，316不锈钢真空腔体，40KHz微米级蚀刻，物理性能强的特点，配备国内**真空泵，真空度高，低噪音，扩散在空气中油气少，避免实验室噪音和油气污染，适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。