iPHEMOS-MP倒置发射显微镜 C10506-06-16产品样册

文档简介 iPHEMOS-MP倒置微光显微镜是一款半导体失效分析系统，通过检测半导体装置缺陷引起的微弱的光发射和热发射来准确定位半导体器件失效的位置。利用其倒置型设计，iPHEMOS-MP对半导体器件的背面进行探测分析，并可结合Tester顺利进行各种类型的分析。iPHEMOS-MP包含一个激光扫描系统，可以获得高分辨率的图像。不同类型的探测器可以用来实现各种分析技术，比如发射分析、热分析、红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析等。当结合专用探测器进行背面观察，iPHEMOS-MP支持从wafer到单个芯片的灵活测量。●iPHEMOS-MP通过安装300 mm晶圆探针，支持从单个芯片到晶圆的测量。 可通过探针卡进行多针接触，并在PC板上进行样品观察。 通过电缆连接也可以使用LSI测试仪驱动进行动态分析。