光学NanoGauge C13027-12产品样册

文档简介 C13027型光学纳米膜厚测量系统是一款利用光谱干涉法测量薄膜厚度的非接触式测量系统。C13207不仅支持PLC连接，而且其设计尺寸比其他型号更紧凑，便于设备安装。Optical Gauge系列不仅能够测量10纳米以下极薄薄膜的厚度，而且还具有超宽测量范围，可以覆盖从10纳米到100微米的各种薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以进行高达200 Hz的快速测量，因此非常适合高速生产线测量。