Alicat MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器（真空型）

文档简介Alicat的MCE系列数字式质量流量控制器可极ng确控制过程气
体的质量流量、体积流量和压力，功能与匹配性与其它品牌无异，依照SEMI国际标准，将后置式高速比例控制阀置于流量本体内。
Alicat的MCV系列数字式质量流量控制器适用于高真空应用，
在MCE后增加一个集成式正向切断阀，其氦气泄漏率仅为
1x10-9 atm-scc/s，有效地杜绝了污染物进入。
Alicat的MCE & MCV系列质量流量控制器采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。Alicat提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat的MCE & MCV系列质量流量控制器带有集成式多功能数字显示屏，用户仅通过屏幕按钮操作便可控制设定值及PID阀门调节。Z高可达0.4%的精度、0.2%的重复性及不到100毫秒的控制响应时间优化了气体控制过程，同时开放模拟通讯和RS-232数字通讯模式。另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国