激光跟踪仪测角误差标定及补偿

文档简介激光跟踪仪采用的增量式测角圆光栅是一种集光、机、电为一体的非接触式数字测角系统，具有结构简单、测角精度高、响应速度快等特点，已被广泛应用在精密角位置的测量设备中。通过分析增量圆光栅的制造误差、电子学细分误差、轴系旋转误差，码盘安装偏心误差对编码器测角精度的影响。