气体质量流量计/控制器的结构和工作原理

文档简介气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。