太阳能电池工艺机械应用

文档简介KEYENCE基恩士FU系列传感器技术专栏在8mm至30mm的距离间，高精度检测8至30mm之间，到玻璃基板的距离即使变化，也可实现定位精度控制在0.2mm以下。如下图所示，通过减小光的开口，提高从箭头方向开始的定位精度。*FS-V30系列TURBO模式APCOFF时*FU-38S在距离5mm至17mm的情况下，是0.2mm以下的定位精度。1清洗装置2扩散炉清洗槽的液位管理检测盒子入口的安全确认检测浮标式流量计的浮标盒内的映射检测Fork（福克）工件检测晶硅的碎片/裂痕检测裂痕/残缺/碎片冷却水备用槽的液位管理通过可视口检测工件是否存在透过可视口检测工件存在与否确认气压恢复硅片有无的确认送料器的除电刮板和玻璃的调整入口的安全措施确认盒内的硅片位置检测托盘确认搬运时架子的姿势检测多层差异晶硅装载吸附搬运玻璃粘在一起之前的定位检测色带的断开/褶皱检测移载机械臂周围进入的物体