粒子计数器洁净等级行业规范

文档简介单位换算：1立方米（）≈35.3146667立方英尺（ft）1ft=10×0.10ft1米m=3.28英尺ft1CFM（ft3/min）=0.4719L/s1平方米m2=10.76平方英尺ft21CFS(ft3/s)=28.32L/s1立方米m3=35.3立方英尺ft31FPM(ft/min)=0.00508m/s1英制加仑gallon=4.55升L1BTU/h=0.2931W1美制加仑gallon=3.79升L1千瓦kw=860千卡/小时kcal/h1磅lb=454克g1USTR美国冷吨=3.516kw