一般来说，影响光谱分析仪器准确度的因素主要有：

1.氩气纯度

光谱分析仪器利用氩气作保护气体，使火花台气腔和光径充满氩气气氛。一是防止空气吸收波长小于190nm以下谱线，以保证碳、硫、磷的分析准确性和重现性。二是防止易氧化的元素铬、硅、铝等优先氧化而形成扩散放电，使分析结果偏低。试验表明，氩气纯大于99.999%，O2≤2×10-6、H2O≤4×10-6，压力大于1MPa，铸造不锈钢分析准确性好，精度高。

2.氩气流量

试验表明，氩气流量控制:火花架为0.5~0.75L.min-1，光径为0.5~0.75L.min-1、分析时为4.7~5.0L·min-1，样品分析精度好。静态氩流量大，待机浪费氩气。光谱仪器分析时氩气流量大，可能是在曝光时，光扰动，精度较差。

3.环境温度

由于光谱仪真空光室仅0.5m且无局部恒温装置。试验发现,环境温度变化对0.5m真空光室影响十分显著。磷分析结果偏差大。试验表明，环境温度控制在t±2°C，样品分析精度好，准确性高。

4.铸造不锈钢样品的制取

电极棒模浇注的光谱试样，需磨出3mm（未经切断）,要求激发面平整且纹路一致，激发点距样品边缘约2mm。否则碳分析结果偏高。试验还发现不锈钢光谱仪分析表面有微裂纹试样，其精度优于其他光谱仪器。

5.标准化

由于光谱仪无局部恒温装置，环境温度变化，铸造不锈钢中磷分析漂移Z大。试验表明，室温控制在t±2°C，仔细完成全标准化，样品分析准确度、精密度均很好。