新品速递 | 可实现10纳米检测灵敏度的NanoAir凝结核粒子计数器来了

金秋十一月，美国粒子监测系统公司推出了一款革命性新产品——NanoAir™凝结核粒子计数器（CPC）。

敲黑板！新品关键词：“灵敏度10纳米”、“流速2.8升/分钟”、“专为最 关键的晶圆厂空间设计”。

NanoAir™兼具凝结核粒子计数器的灵敏度以及传统洁净室粒子计数器的易用性和功能性。专为监测超洁净环境而设计，在2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）的采样流速下，可实现10纳米检测灵敏度。

这款新型NanoAir的尺寸比同类产品小83%，因此便于在超洁净环境下的任何地点使用，甚至可在半导体制程机台和设备前端模块（EFEM）内部使用。工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需维护或任何形式的用户干预，因此减少了采样和数据收集时的中断及制程机台停工时间。此外，NanoAir在选配PMS的HPD-III高压扩散器后，与高压气体兼容，数据可通过PMS Facility Net设施监测软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值。

同时，还配套提供ParticleSeeker™分流产品，其搭载10个端口，支持按顺序或编程顺序监测多个采样位置的应用场景。

产 品 优 势

• 在同类产品中尺寸最小，可在最关键功能区的制程机台内和拥挤的高压气体分配公用设施板上进行监测；

• 工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需用户干预，防止采样和数据收集的中断；

• 同类最 佳的外部容积尺寸，为设计用于制造和制程控制应用场景的凝结核粒子计数器设定了标准；

• 不使用鞘气，提供容积采样能力；

• 在运输、处理和安装过程中，不会出现其他凝结核粒子计数器在工业场景下常见的非必要流体运移；

• 无内泵或风扇；省去维护工作，消除潜在的颗粒生成；

• 能够按顺序或编程顺序监测多个采样点。

应 用 场 合

• 制程区域的使用点（POU）监测

• 实时连续的粒子活动监测

• 在半导体制程机台和前端设备模块（EFEM）内部使用

NanoAir搭配ParticleSeeker(10端口采样器)

• 大面积污染监测，最 大120平方米的晶圆厂/制程空间
  

• 在制程机台设备前端模块（EFEM）的微型环境内进行监测

• 完 美适用于需按照晶圆片或其他关键表面的路径进行程序化采样点监测的应用场景

NanoAir搭配HPD-III(用于高压惰性气体监测)

• 对惰性高压气体管道进行实时、连续监测，包括压缩空气、氮气、氩气和二氧化碳。

  
  

  如果您想进一步了解更多NanoAir凝结核粒子计数器的相关内容，请通过下方联系方式与我们取得联系。

美国粒子监测系统公司是一家专注于环境粒子及微生物监测技术研究的公司，我们的产品主要用于洁净室的污染监测及控制。自1972年成立以来，PMS团队就凭借着前沿的知识体系与丰富的实践经验不断探索创新，力求推动洁净室监测领域的发展。

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