JEOL 的场发射扫描电子显微镜JSM-7800F采用了新开发的检测器系统,因此,即使在1kV以下的低加速电压范围内,也能够有选择地检测样品中产生的电子能量带。下面介绍这种新型检测器系统的应用实例:
新型检测器的原理图
通过调整UED 过滤器 偏压,能够同时获得以二次电子为主的图像和以背散射电子为主的图像 样品:氧化钛负载的金颗粒、加速电压: 2 kV、 UED 过滤器 偏压 :-0.5 kV
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