UV紫外臭氧清洗是物理还是化学反应

是化学反应.
臭氧具有很强的氧化性，从而具有消毒杀菌作用.
可以这么简单的说，从化学层面上可以把病毒细菌理解为有机物，有机物容易被氧化分解.