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请教一下关于真空泵的问题。。罗茨泵和干泵

__小忠 2017-11-25 09:51:01 631  浏览
  • Z近工作中涉及到了真空泵,不懂这个,请教一下关于真空泵的问题。。是一台ads602真空泵,由罗茨泵和干泵组成,设备工作时是先预抽到500mtorr,在继续主抽抽真空到10mtorr,这里罗茨泵... Z近工作中涉及到了真空泵,不懂这个,请教一下关于真空泵的问题。。是一台ads602真空泵,由罗茨泵和干泵组成,设备工作时是先预抽到500mtorr,在继续主抽抽真空到10mtorr,这里罗茨泵和干泵必须配合使用吗?他们分别起什么作用?所谓干泵是专指一种泵吗,很多泵都叫干泵啊?另外不明白系统工作时是怎么自动切换预抽,主抽的,泵单独工作根本不和系统连接啊(当然有连个蝶阀)?求指教 展开

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全部评论(1条)

  • 121646355 2017-11-26 00:00:00
    这里罗茨泵和干泵必须配合使用,因为罗茨泵是不能单独使用的,必须与一台前级真空泵(前级真空泵可以是干泵、水环式真空泵或者旋片式真空泵都可以,你这儿用的是干泵)串联,待前级泵抽到一定的压力后才能够启动罗茨泵,罗茨泵的优点就是在较低的入口压力下具有较高的抽气速度,通俗点讲就是在较高的真空度下仍有比较大的抽速。配用不同的前级泵能够达到的极限真空也是不同的。

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请教一下关于真空泵的问题。。罗茨泵和干泵
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