Z近工作中涉及到了真空泵，不懂这个，请教一下关于真空泵的问题。。是一台ads602真空泵，由罗茨泵和干泵组成，设备工作时是先预抽到500mtorr，在继续主抽抽真空到10mtorr，这里罗茨泵... Z近工作中涉及到了真空泵，不懂这个，请教一下关于真空泵的问题。。是一台ads602真空泵，由罗茨泵和干泵组成，设备工作时是先预抽到500mtorr，在继续主抽抽真空到10mtorr，这里罗茨泵和干泵必须配合使用吗？他们分别起什么作用？所谓干泵是专指一种泵吗，很多泵都叫干泵啊？另外不明白系统工作时是怎么自动切换预抽，主抽的，泵单独工作根本不和系统连接啊（当然有连个蝶阀）？求指教
这里罗茨泵和干泵必须配合使用，因为罗茨泵是不能单独使用的，必须与一台前级真空泵（前级真空泵可以是干泵、水环式真空泵或者旋片式真空泵都可以，你这儿用的是干泵）串联，待前级泵抽到一定的压力后才能够启动罗茨泵，罗茨泵的优点就是在较低的入口压力下具有较高的抽气速度，通俗点讲就是在较高的真空度下仍有比较大的抽速。配用不同的前级泵能够达到的极限真空也是不同的。
评论
__小忠 
长按识别二维码查看信息详情