真空泵的性能参数 1、真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa,是指泵在入口处装有 标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的Z低压强。 2、 真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工 作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 3、真空泵的抽气量 真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。 4、 真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压 强。 5、泵的前级压强 真空泵的前级压强单位是Pa,它是指排气压强低于一个大气压的真空 泵的出口压强。 6、真空泵的Z大前级压强 真空泵口Z大前级压强单位是Pa,它是指超过了 能使泵损坏的前级压强。 7、真空泵的Z大工作压强 真空泵的Z大工作压强单位是Pa,它是 指对应Z大抽气量的入口压强。在此压强下,泵能连续工作而不恶化或损坏。 8、压缩比 压 缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 9、何氏系数 泵抽气通道面积上的实际 抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。 10、抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子 泻流计算的理论抽速之比。 11、返流率 泵的返流率单位是g/cm2.s。