饱和蒸汽压的原因。
简单说，常压下，水的沸点是100度，但是在50度以上就会有不少水被汽化。
同理，在真空环境下，水的沸点低，假设为60度为水的沸点，那在40度时就会有水被汽化。
此时真空泵抽的不止是系统内的空气，还有水自身汽化的一部分气体，从而导致抽气量不够，抽气量不够就导致真空度不高。 这就是您问的问题。
如果你的被抽系统中不含有蒸汽等乳化油的成分，可以用油做循环液，油的饱和蒸汽压高，温度高一点没有关系。真空度也高，抽气量也高。
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