扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题，特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法，制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素，例如加速电压、镀膜厚度、试样尺寸及固定方法等，举例说明了选择Z佳条件在无机非金属材料研究中的应用.镀膜是解决非导电试样荷电现象的主要方法，也可以提高图像质量，但往往产生假象，对场发射扫描电镜试样要特别注意镀膜材料和镀膜厚度.镀膜材料要根据试样材料和放大倍率选择，在一万倍以下观察图像时，可以蒸镀金膜，用场发射SEM观察高倍图像时，应蒸镀厚几nm的难熔金属Pt或者Pt-Pd合金.
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汪书振 
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