2017年香港跑马时间表———带氧化膜薄层的硅片用扫描电镜观察要覆碳吗

扫描电镜导电品处理比较见问题采用几种

尽量块状品做甚至做粉末使品与品座接触良
观察品进行镀金或喷碳处理使品表面形导电膜利于电荷流走
再用导电胶喷碳或喷金品表面与品座（台）连接减少电积累
于解决放电效应图像影响加快扫描速度或用集模式采集图像YZ电荷积累
用扫描电镜背散射探采集图像几乎放电效应背散射信号强度比较高放电电荷干扰