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请问一下:在调节扫描电镜聚焦时为什么工作距离会变?

杨柳青青806 2013-02-02 02:18:29 394  浏览
  • 理论上说工作距离应该是试样表面到物镜小表面的距离,而聚焦是调节激励电流使Z小束斑点落在试样表面即可成清晰的图像,由于聚焦是可以连续调节的,按道理说不改变工作距离应该是可以调焦的,但是为什么调焦的时候工作距离会自动改变?

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全部评论(2条)

  • yumiao2006 2013-02-03 00:00:00
    工作距离和焦距有关联曲线,是为方便操作,这样样品高度差异才直观。

    赞(7)

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  • sdlink123 2018-05-31 23:58:49
    工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离,但是由于每次放入不同样品的高度不一样,每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同,这均使得WD发生变化。所以,操作扫描电镜时,需要做的diyi件事就是先粗略定WD,方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像,根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD,而后,你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意,调节WD是要靠机械马达,而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件,相比之下,前者是粗调,后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时,该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。

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