请问一下：在调节扫描电镜聚焦时为什么工作距离会变？

工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离，但是由于每次放入不同样品的高度不一样，每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同，这均使得WD发生变化。所以，操作扫描电镜时，需要做的diyi件事就是先粗略定WD，方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像，根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD，而后，你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意，调节WD是要靠机械马达，而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件，相比之下，前者是粗调，后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时，该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。

工作距离和焦距有关联曲线，是为方便操作，这样样品高度差异才直观。