请问一下：在调节扫描电镜聚焦时为什么工作距离会变？
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理论上说工作距离应该是试样表面到物镜小表面的距离，而聚焦是调节激励电流使Z小束斑点落在试样表面即可成清晰的图像，由于聚焦是可以连续调节的，按道理说不改变工作距离应该是可以调焦的，但是为什么调焦的时候工作距离会自动改变？
全部评论(2条)
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- yumiao2006 2013-02-03 00:00:00
- 工作距离和焦距有关联曲线，是为方便操作，这样样品高度差异才直观。
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- sdlink123 2018-05-31 23:58:49
- 工作距离WD的概念是物镜下表面到试样表面的距离，但是由于每次放入不同样品的高度不一样，每个样品上的不同区域的形貌起伏也不同，这均使得WD发生变化。所以，操作扫描电镜时，需要做的diyi件事就是先粗略定WD，方法就是在某一特定放大倍数下获得聚焦清楚的图像，根据此时的焦长自动标定出相对准确的WD，而后，你继续调节WD的数值才是相对真实可信的。注意，调节WD是要靠机械马达，而利用焦距判定WD是利用焦长以及SEM的系统软件，相比之下，前者是粗调，后者是精确值。你在同一试样上的不同高度的微区聚焦时，该微区距离物镜下表面的WD精确值当然会因聚焦条件的变化而被重新校正。所以拍照所得的WD会发生微小的变化。
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