晶格常数与热膨胀系数对异质半导体薄膜外延生长有何影响

外延：是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。 同质外延：生长外延层和衬底是同一种材料，这种工艺就是同质外延；这类工艺简单，但成本较高。 异质外延：外延生长的薄膜材料和衬底材料不同