做的是多层膜，约500nm，用纳米压痕硬度计测量杨氏模量与硬度，600微牛，深入约30纳米，小于膜厚的10%。结果与预估值相差很大：文献报道杨氏模量约为200GPa，硬度10GPa左右，但测出来模量只有30GPa， 硬度只有200MPa左右。之前用同样方法测量过硅基底的模量与硬... 做的是多层膜，约500nm，用纳米压痕硬度计测量杨氏模量与硬度，600微牛，深入约30纳米，小于膜厚的10%。结果与预估值相差很大：文献报道杨氏模量约为200GPa，硬度10GPa左右，但测出来模量只有30GPa， 硬度只有200MPa左右。之前用同样方法测量过硅基底的模量与硬度，与文献值相符。为什么多层膜的测量值就不准呢？？？求教高手！！！
也许是实验环境的问题 譬如有微小的气流影响了实验这样的问题就属于实验环境的问题；另外，如果文献记录是多次测量的结果，而你就做了几次实验，那么出误差的几率还是很高的；如果你也是多次测量，也许文献有错（这个不排除），但也可能是其他的因素（设备老化这样的问题等），找这种问题就要考验我们的细心程度了，加油呐
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mumod_ 
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