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如何又快又好的制作薄片样品

yufalan0201 2017-02-26
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要用离子减薄仪制备硅基底氮化硼镀层截面的透射电镜样品,先要将截面磨薄至50微米以下,并将镀层界面放置在夹片ZX。
硅基底氮化硼镀层总厚度大概300微米,样品的制备流程如下:
1、将样品用刻刀切两个大小为3mm×3mm左右的小方块,用棉签粘酒精清洁镀层表面。
2、将两个小方块的镀膜面用M-bond 610离子减薄胶对粘,由于样品厚度较薄,分别再用两片硅片(厚度550微米左右)分别粘住样品背面,总厚度值加大后更有利于样品磨制均匀。
3、用XTEM截面夹具夹紧对粘后的样品,放置在加热台上设定温度70度,烘烤6小时以上。
4、当对粘样品固化后,用TXP的金刚石锯片将截面切成厚度400微米的薄片数片,去除Z外侧的两片,还可以制备至少三片离子减薄样品。
16 0 2017-02-27 0条评论 回复
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