什么是二次离子质谱分析法

什么是二次离子质谱分析法
通过一次离子溅射，SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次离子像.
1、SIMS具有很高的元素检测灵敏度以及在表面和纵深两个方向上的高空间分辨本领，所以其应用范围也相当广泛.涉及化学、生物学和物理学等基础研究领域及微电子、催化、新材料开发等各个领域.
2、 二次离子质谱法对于大部分元素都有很高的探测灵敏度，其检测下限可达百亿分之几的数量级.对痕量组分能进行深度剖析，可在微观(μm级)上观察表面的特征，也可以对同位索进行分析和对低原子序数的元素(如氢、锂、铍等)