为什么用扫描电镜分析轻元素比较困难

氢元素特征X射线能量很低。低能量x射线容易被基底吸收。因此低能量X射线产额低，如果产额低于噪音，就无法检测到，需要提高采集时间。根据统计原理进行的定量分析更加困难。轻元素俄歇电子差额高，如果需要精确定量，一般使用俄歇电子谱仪。

氢元素特征X射线能量很低。低能量x射线容易被基底吸收。因此低能量X射线产额低，如果产额低于噪音，就无法检测到，需要提高采集时间。根据统计原理进行的定量分析更加困难。轻元素俄歇电子差额高，如果需要精确定量，一般使用俄歇电子谱仪。

用能谱对轻元素不准，用波谱要好些，应束流较小，轻元素的准确度不如电子探针