ICP对于ICP-OES来说是光源，对于ICP-MS来说是离子源。尽管名字不同，但是两者本身是一样的，只不过我们把它叫成两个不同的名字，是从后面的分析仪器角度往前看，才觉得这两个ICP貌似有点不同。其实无论是从工作原理和结构来看，两者基本是一样滴。也就是说在工作的时候，都会产生大量的电子、离子、光子、激发态原子、亚稳态的分子离子等等，对于质谱来说，只有离子（正离子）是有用的，其他的要想办法去除；对于光谱仪来说，光子是有用的，其他的要想办法去除。质谱用质量分析器来区分不同质核比的离子，光谱仪用光栅（中阶梯）来分光，区分不同波长的光子。到了后面检测器部分，两者又一样了，都是基于电子倍增原理来探测信号，只不过质谱的倍增器是离子->电子->电子倍增的原理；光电倍增管则是光子->电子->电子倍增的原理，前面多了一个光阴极，先将光子转为电子罢了。
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