极度微小的位移，采用电容传感器能测出来吗？被测物是导体。

可以啊，电容位移传感器被测物体要求是导电体。精度也非常高，以德国米铱公司capaNCDT 6530举例，误差可以达到0.1微米，分辨率可以达到0.0375nm。 详细可以参考
www.micro-epsilon.com.cn

ZCS1100型精密电容位移传感器（单通道电容传感器）：
本传感器采用电容式测量方法，可以在线检测压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。该传感器是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。

是完全可以的。
ZNXsensor超精密电容位移传感器
量 程: 20～1250μm
分辨率: <0.1nm
线性度: Z高0.02%
频带可调: 50～5000Hz
灵敏度: 可调

应用:
纳米分辨率.零磁滞。多用于压电微位移.振动台.电子显微镜微调.天文望远镜镜片微调.精密微位移测量等。