电容式测厚传感器原理

用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容C为 C=εε0 S/δ S—极板相对覆盖面积； δ—极板间距离；εr—相对介电常数； ε0 —真空介电常数，ε0 ＝8.85pF/m； ε —电容极板间介质的介电常数。 δ、S和εr中的某一项或几项有变化时，就改变了电容C0、δ或S的变化可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映压力、加速度等的变化；εr的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。

这个有点太专业了，必须得有专业人士来解答了