如何提高电容式位移传感器的灵敏度

　　变面积式电容传感器的灵敏度 = 电容变化量 ÷ 极板位移变化量
1、当前电容C = 介电常数ε × [极板长a×(极板宽b－极板位移变化量)÷两极板间距d]
其中，极板位移变化量是指在b方向上的变化
2、电容变化量 = Z大总电容量C0－当前电容C
根据1和2，可以推导出：灵敏度 = 电容变化量 ÷ 极板位移变化量 = －(ε × b ÷ d)
三个数都是常数，所以灵敏度为常数。