根据电容式传感器的工作原理,可将其分为3种:变极板间距的变极距型、变极板覆盖 面积的变面积型和变介质介电常数的变介质型。
变极板间距型电容式传感器的特点是电容量与极板间距成反比,适合测量位移量。 变极板覆盖面积型电容传感器的特点是电容量与面积改变量成正比, 适合测量线位移和角位移。 变介质型电容传感器的特点是利用不同介质的介电常数各不相同,通过改变介质的介电常数实现对被测量的检测, 并通过电容式传感器的电容量的变化反映出来。 适合于介质的介 电常数发生改变的场合。
根据测量原理不同,电容式传感器可分为变面积型传感器;变极距型传感器;变介质型传感器。极距变化型一般用来测量微小的极距变化。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。