激光位移传感器分为两种,一种是三角反射式的,一种是脉冲时间差式的。前者适合在小测量范围时使用,精度很高。后者适合在长距离测试任务中,量程大,但是精度相对会降低。
前者的应用领域主要是被测物体不能被接触,例如光学镜头,镀层表面,光滑金属加工面等等情况,采用非接触测量原理可以避免测量给被测物体表面带来的可能划伤。三角反射式测量原理的激光传感器相对精度和稳定性都比较高,但是量程偏小,无法在大尺寸测量任务中使用。以德国米铱optoNCDT2300激光传感器举例,其误差在0.02%,量程Z大到50mm。由于测量原理要求保证三角光线回路,如果被测物体周围有遮挡物,例如沟槽,突起物等等,也会影响测量。适应的领域包括机械结构距离和尺寸测量,厚度测量,平面度测量,跳动和振动频率测量等。
时间差激光传感器测量的是激光脉冲从发出到返回的时间差,从而换算成距离信息。精度受到一定影响,但是量程大大提高。以德国米铱ILR1191激光测距仪为例,误差达到20mm以下, 量程可以达到3000米。应用的领域包括造船,桥梁结构测量,大型港口起重设备的移动距离测量,建筑物结构变形和刚性检测等领域。