光电测量能够实现高精度的位移值测量吗？

可以。光电测量是利用光电探测器探测，探测器表面每个点的感光度不一样，当你物体移动的时候感光度反映的情况不一样。从而得出你物体位置的移动。一般都可以做到um级别，更高精度的也有。

非常精确的，因为光电的感应是非常灵敏的点状感应，但要看你怎么开发设计这个测量方式。