如何用变介质型电容式传感器测量金属涂层厚度？

电容传感器常见的有变截距型，变面积型，变介电常数型。
但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体（需要具有导电性）作为电容的一个极板，用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离，正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移，就要确保后两者不会变化。

以德国米铱capaNCDT为例，可以测量导体材料和非导体材料（测量非导体材料时，采用变介电常数原理）。误差可以达到0.1微米，分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素（恒定的油污和水也是可以补偿的，不恒定的就会有问题），否则会影响电容的介电常数。
一个应用案例就是测量塑料薄膜厚度，由于塑料薄膜本身是非导体，传感器自身即使阳极也是阴极。通过测量值的标定，也是可以对应处被测物的厚度的，但是调试比较复杂。
如果被测物是金属涂层，建议可以使用德国米铱的电涡流传感器激光三角传感器复合传感器。激光传感器负责检测涂层上表面，而电涡流传感器可以直接检测到基材金属材质的表面，也就是涂层下表面。从而得到涂层厚度。
德国米铱复合传感器