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如何用变介质型电容式传感器测量金属涂层厚度?

enjoy风5 2015-11-24 01:31:15 376  浏览
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  • 330474128 2015-11-25 00:00:00
    电容传感器常见的有变截距型,变面积型,变介电常数型。 但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体(需要具有导电性)作为电容的一个极板,用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离,正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移,就要确保后两者不会变化。 以德国米铱capaNCDT为例,可以测量导体材料和非导体材料(测量非导体材料时,采用变介电常数原理)。误差可以达到0.1微米,分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素(恒定的油污和水也是可以补偿的,不恒定的就会有问题),否则会影响电容的介电常数。 一个应用案例就是测量塑料薄膜厚度,由于塑料薄膜本身是非导体,传感器自身即使阳极也是阴极。通过测量值的标定,也是可以对应处被测物的厚度的,但是调试比较复杂。 如果被测物是金属涂层,建议可以使用德国米铱的电涡流传感器激光三角传感器复合传感器。激光传感器负责检测涂层上表面,而电涡流传感器可以直接检测到基材金属材质的表面,也就是涂层下表面。从而得到涂层厚度。 德国米铱复合传感器

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