微波等离子设备运用在哪些方面？

纳米材料制备：
石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石膜等。
材料改性：高聚物，纺织品。
半导体工业：新半导体材料、亚微米刻蚀。
镀膜：pvd，cvd镀膜。可采用ECR方式。
材料制备：发泡金属材料。
环保：废烟、气、水处理。
医药领域：YL器材低温消毒。
电子领域：LCD等电子零部件表面清洗。
食品、医药化妆品工业有效成分萃取。
植物种子、微生物菌改性，辅助催化。
光学：平板显示。
--优普莱等离子体