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椭圆偏正光法
木子氵共111
2007-11-19
怎样用椭圆偏正光法测薄膜厚度... 怎样用椭圆偏正光法测薄膜厚度
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角弧度
偏正光???偏振光吧
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率
椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光.根据偏振光在反射前后的偏振状态变化,包括振幅和相位的变化,便可以确定样品表面的许多光学特性.
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2007-11-20
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