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北京什么单位有椭偏仪?
skyejay66
2014-06-28
我需要测试SiNx等薄膜厚度,请问北京什么单位有椭偏仪设备,且对外服务,希望知道的告诉一下啊谢谢了。... 我需要测试SiNx等薄膜厚度,请问北京什么单位有椭偏仪设备,且对外服务,希望知道的告诉一下啊 谢谢了。
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颜建鹏1111
清华大学纳米ZX有光谱式椭偏仪。 http://www.cers.edu.cn ... upid=10003221波长210nm-900nm,膜厚分辨率1A-几个um http://cache.baidu.com ... 5e&user=baidu 查看原帖>>
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