不同的清洗要求需要不同的超声波频率。 较低的超声波频率表示有更大的空化泡和更强烈的空化内破裂。 在较高的频率空化泡更小更多并且虽然空化内破裂不那么强烈。 超声波频率越低在液体中产生的空化越容易产生的力度大作用也越强，适用于工件粗、脏初洗。频率高则超声波方向性强适合于精细的物件清洗。超声波工作频率低则工作噪音较大随着工作频率的提高噪音明显减少。工业常用频率为16，18，20，25，28，40千赫。频率的选择需要根据实用经验及工艺试验确定，选择错误会造成很多麻烦。例如硅晶圆采用 28 千赫频率清洗往往会被打碎，而铁氧体永磁材料采用 40 千赫清洗往往没什么效果。
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Lariyas 
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