用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

SEM？FSEM的话，勉强可以看到，会漂移的很厉害，喷金可以改善导电性 查看原帖>>
麻烦采纳，谢谢!

固定一面到夹具上喷金，上SEM上次有个师妹一起做SEM，看到100nm左右的薄膜，只能慢慢尝试 查看原帖>>

可以有两个办法解决，一个是使用高分辨扫描电镜，即场发射电镜，样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光，采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主Z好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金，你的薄膜本身厚度很薄，喷上一层如果存在不均匀性，检测出的结果不可信。 查看原帖>>

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决. 查看原帖>>

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.