真空泵为什么要用氮气？是有4个罗茨泵加一个助力泵的真空泵组

抽腐蚀性气体的泵会用到氮气，氮气对泵进行吹扫，延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀。
应该是真空镀膜工艺中用到的一些气体对泵有腐蚀作用，所以会采用这种泵。

真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁形成微弱保护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小，过大会影响抽真空效果和增加能耗；过小可能导致形不成保护效果

一般这样设计，都是起保温作用的！

那可能是应用于真空镀膜的机组，在镀膜中需要充氮气的。