EDS能谱仪死时间过大怎么处理?

定义：死时间=(输入计数率-输出计数率)/输入计数率*
1、死时间=0%时， 输入计数率=输出计数率 输入输出的关系曲线在线性线性区，只有在低输入计数率时，一般小于2000cps，输入输出才相等。
2、超过2000cps，输出增长速度小于输入增长速度，但还是上升的，一般商品化EDS当死时间达到30%左右，达到输出峰值。
3、输入计数率进一步增加，输出计数率开始下降，死时间快速恶化。直到输出计数率=0cps，
这时死时间=时，系统电器被锁死，需要重新启动。

由以上规律可以找到降低死时间的方法：系统正常情况下。
1、减低输入计数率，可将死时间降低并调整到合适的位置，具体方法如下：
1.1、可降低探针电流（加大聚光镜激励，减小SpotSize；更换小的物镜光阑；降低电子枪亮度，都可实现降低探针束流，关键看具体需要）；
1.2、或者减小探测器几何收集角度（加大探测器到样品的距离），
1.3、或者改变加速电压，向有利于降低X射线产额的方向，或者改变WD（这个一般不足取），
1.4、减小样品台倾斜角度，如果之前样品台向探测器方向倾斜，可以降低倾斜角度（X射线的空间分布一般以样品表面法线方向呈余弦分布）。
2、提高输出计数率：在输入计数率一定条件下，如果初期设置的处理时间较长，可以降低处理时间常数，也会降低死时间，但分辨率会降低。

如果系统死时间异常增大可检查：
1、是否有外来光源进入探头，如CCD红外灯、真空规管、LED等其他光源关闭。（额外增加了输入计数率）。
2．检查电源接地情况是否良好，尽量使电镜外壳、能谱仪控制器、和电源同地（干扰）。
3．检查能谱仪信号线是否和分子泵、变压器等强磁场电场缠绕，这有可能引入噪声（额外引入不正常信号，增加输入计数率）。
4．进行探测器校准。鉴别器零稳
5．检查探测器窗口是否破裂，如破只能返修。