什么是能谱分析仪

能谱分析仪(EDS，Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱分析仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头
探测面积：几平方毫米
分辨率（MnKa）：～133eV
探测元素范围：Be4～U92

谱分析仪是指物质数据的仪表？