求问多晶硅的纯度怎么测，使用什么仪器

多晶硅生产厂家一般配置的仪器：
气相、红外、ICP－OES、ICP－MS
ICP－OES：主要用于测试原料及过程控制。
ICP－MS：用于成品检测。
国内现在上马建设的多晶硅厂家很多，基本上都是这种配置。