脉动压力传感器工作原理

压力脉动信号的采集任务是由感受压力并转换为与压力成一定关系的电信号输出的传感器完成的。适合用于采集压力脉动信号的两种传感器：应变式压为传感器和压阻式压力传感器。
应变式压力传感器在膜片上粘贴有应变片，四片应变片可以将脉动压力转换为电信号。
一种压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术，制造出表现好的传感器。