压力计按工作原理不同可分为液柱式、弹性式和传感器式3种形式。
(1).液柱式如U型管压力计、排管压力计等,是根据流体静力学原理将压力信号转变为液柱高度信号,常使用水、酒精或水银作为测压工质。特点: 结构简单、读数直观、信号不能远传,适合于低压测量,其测量上限不超过0.1 ~0.2MPa;精度为 ±0.02%~±0.15% 。
(2).弹性式如包登管压力计,将压力信号转变为弹性元件的机械变形量,以指针偏转的方式输出信号。但更多情况下要求将信号传至控制室,一般需在已有的弹性测压计结构上增加转换部件,就可以实现信号远距离传输。弹性测压计信号多采用电远传方式,即将弹性元件的变形或位移转换为电信号输出。常见的转换方式有电位器式、霍尔元件式、电感式、差动变压器式。工业上多采用弹性性式压力计。
(3).压力传感器的原理是将压力信号转变为某种电信号,常见的有:应变式、压阻式、压电式、电容式。
a.应变式:应变元件工作原理基于导体和半导体的“应变效应”,即当导体和半导体材料发生机械形变时,其阻值将发生变化。
b.压阻式:压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器,是基于半导体的压阻效应。它不同于应变式传感器所用的体型应变元件,而是用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻。硅平膜片在微波形变时有良好的弹性特性。膜片的变形使 扩散电阻的阻值发生变化。
c.压电式:是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号,它是动态压力检测中常用的传感器,不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。由压电材料制成的压电元件受到压力作用时会产生电荷,当外力去除后电荷消失,在弹性范围内,压电元件产生的电荷量与作用力之间呈线性关系。
d.电容式:是将弹性元件的位移转换为电容量的变化,以测压膜片作为电容器的可动板,它与固定板组成可变电容器。当被测压力变化时,测压膜片产生位移而改变两极板间的距离,测量相应的电容量变化,可知被测压力值。