椭偏仪可以测小于10纳米的膜厚吗

普通光学显微镜不能测厚度，原子力显微镜和扫描隧道显微镜可以测纳米级别的表面形貌。不过我觉得这应该不是你想问的问题。如果测10纳米到几百纳米尺寸，可以用椭偏仪。如果是微米级别的形貌可以用台阶仪啊，不过台阶仪器是一维的，不知道是不是...0149