仪器网(yiqi.com)欢迎您!

| 注册登录
网站首页-资讯-专题- 微头条-话题-产品- 品牌库-搜索-供应商- 展会-招标-采购- 社区-知识-技术-资料库-方案-产品库- 视频

问答社区

椭偏仪可以测小于10纳米的膜厚吗

fwq6fv3 2016-05-01 20:28:33 325  浏览
  •  

参与评论

全部评论(1条)

  • 梦回太古27 2016-05-02 00:00:00
    普通光学显微镜不能测厚度,原子力显微镜和扫描隧道显微镜可以测纳米级别的表面形貌。不过我觉得这应该不是你想问的问题。如果测10纳米到几百纳米尺寸,可以用椭偏仪。如果是微米级别的形貌可以用台阶仪啊,不过台阶仪器是一维的,不知道是不是...0149

    赞(15)

    回复(0)

    评论

获取验证码
我已经阅读并接受《仪器网服务协议》

热门问答

椭偏仪可以测小于10纳米的膜厚吗
 
2016-05-01 20:28:33 325 1
关于椭偏仪
Z近在调研椭偏仪,问下哪位用过,说说怎么调节起偏和检偏找到消光点比较快,Z好有实际经验的来。手调机调的无所谓,不过Z好详细点。贴原理的请离开。理论派的自重。诚心求教中。。... Z近在调研椭偏仪,问下哪位用过,说说怎么调节起偏和检偏找到消光点比较快,Z好有实际经验的来。手调机调的无所谓,不过Z好详细点。 贴原理的请离开。理论派的自重。 诚心求教中。。。 展开
2010-01-21 14:07:31 374 2
椭偏仪的介绍
 
2018-11-14 11:43:07 393 0
椭偏仪的应用
 
2018-12-08 13:35:39 321 0
椭偏仪可以测量所有半导体薄膜厚度吗
 
2018-11-28 19:43:22 254 0
椭偏仪的仪器构造
 
2018-11-26 19:21:27 377 0
椭偏仪的Z新发展
 
2018-11-30 04:06:25 255 0
椭偏仪的应用领域、举例
 
2018-11-26 06:43:00 256 0
哪个大学有椭偏仪
 
2018-12-10 03:59:17 286 0
椭偏仪用英语怎么说?
 
2008-01-22 15:59:58 382 1
北京什么单位有椭偏仪?
我需要测试SiNx等薄膜厚度,请问北京什么单位有椭偏仪设备,且对外服务,希望知道的告诉一下啊谢谢了。... 我需要测试SiNx等薄膜厚度,请问北京什么单位有椭偏仪设备,且对外服务,希望知道的告诉一下啊 谢谢了。 展开
2014-06-28 09:01:05 370 1
光谱椭偏仪 Psi指的是什么,
 
2018-11-15 03:04:05 457 0
请问椭偏仪能测复折射率吗?怎么测?如果不能,什么仪器能?
 
2018-11-27 22:14:44 255 0
椭偏仪ja.woolam 与horiba哪个好
 
2016-02-06 14:33:55 343 1
谁有椭偏仪数据处理软件或程序
 
2018-11-30 04:50:25 398 0
产品介绍 Bruker FilmTek CD椭偏仪

——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学

 

FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。


FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽,在低于10纳米的范围内进行高精度测量。


依赖传统椭圆偏振仪或反射仪技术的现有计量工具在实时准确解析CD测量的能力方面受到限制,需要在设备研究和开发期间生成繁琐的库。FilmTek CD通过获得多模态测量技术克服了这一限制,该技术甚至为完全未知的结构提供了单一解决方案。


FilmTek CD包括具有快速、实时优化功能的专有衍射软件。实时优化允许用户以小的设置时间和配方开发轻松测量未知结构,同时避免与库生成相关的延迟和复杂度。

 

测量能力:


·厚度、折射率和光盘计量
·未知薄膜的光学常数表征
·超薄膜叠层厚度
·广泛的关键尺寸测量应用,包括金属栅极凹槽、高k凹槽、侧壁角、抗蚀剂高度、硬掩模高度、沟槽和接触轮廓以及间距行走

 

Bruker FilmTek CD椭偏仪在尔迪仪器有售,如有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司!拨打电话021-61552797!021-61552797!

 


2022-09-13 11:39:37 100 0
产品介绍Bruker FilmTek CD椭偏仪

——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学

 

Bruker FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。


FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽,在低于10纳米的范围内进行高精度测量。


依赖传统椭圆偏振仪或反射仪技术的现有计量工具在实时准确解析CD测量的能力方面受到限制,需要在设备研究和开发期间生成繁琐的库。FilmTek CD通过获得多模态测量技术克服了这一限制,该技术甚至为完全未知的结构提供了单一解决方案。


FilmTek CD包括具有快速、实时优化功能的专有衍射软件。实时优化允许用户以小的设置时间和配方开发轻松测量未知结构,同时避免与库生成相关的延迟和复杂度。

 

测量能力:


·厚度、折射率和光盘计量
·未知薄膜的光学常数表征
·超薄膜叠层厚度
·广泛的关键尺寸测量应用,包括金属栅极凹槽、高k凹槽、侧壁角、抗蚀剂高度、硬掩模高度、沟槽和接触轮廓以及间距行走

 

bruker椭偏仪在尔迪仪器有售,如有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司!拨打电话021-61552797!021-61552797!


2022-10-08 13:38:46 149 0
有没有人做过椭偏仪的,指点一下
 
2017-02-23 02:29:41 316 1
为什么椭偏仪测出的反射率大于1
选用全自动椭圆偏振光谱仪(型号:Ellip-SR-I)测试玻璃涂层的参数,测试结果的Z后一列是反射率,但是测出的反射率大于1,请问是为什么?如果将结果优化到合理范围?... 选用全自动椭圆偏振光谱仪(型号:Ellip-SR-I)测试玻璃涂层的参数,测试结果的Z后一列是反射率,但是测出的反射率大于1,请问是为什么?如果将结果优化到合理范围? 展开
2018-07-17 00:12:45 716 1
测厚仪和膜厚仪一样吗
 
2012-10-25 12:38:21 280 3

2月突出贡献榜

推荐主页

最新话题